Atomic layer deposition of cobalt(II) oxide thin films from Co(BTSA)(2)(THF) and H2O

Tutkimustuotos: ArtikkelijulkaisuArtikkeliTieteellinenvertaisarvioitu

Kielienglanti
E-julkaisun artikkelinumero (ei DOI)010908
LehtiJournal of vacuum science & technology : an official journal of the American Vacuum Society
Vuosikerta / volyymi37
Numero1
Sivumäärä12
ISSN0734-2101
DOI - pysyväislinkit
TilaJulkaistu - tammikuuta 2019
OKM-julkaisutyyppiA1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä, vertaisarvioitu

Ulkoiset yksiköt

Kim, Jiyeon
  • Ruhr University Bochum

ID: 121300257